Nanomessmaschine zur abbefehlerfreien Koordinatenmessung (Nano Measuring Machine for Zero Abbe Offset Coordinate-measuring)
Nanomessmaschine zur abbefehlerfreien Koordinatenmessung (Nano Measuring Machine for Zero Abbe Offset Coordinate-measuring)
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Nanomessmaschine zur abbefehlerfreien Koordnmessung（用于零阿贝偏移坐标测量的纳米测量机）
DOI：
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发表时间：
2000
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hans Büchner
中科院分区：
文献类型：
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作者：
E. Jäger;E. Manske;T. Hausotte;Hans Büchner
Abstract Am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik wird eine Nanomessmaschine für die dreidimensionale Koordinatenmessung mit einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm und einer Auflösung von 1.24 nm entwickelt. Das Gerät schließt mit seiner Auflösung und seinem Messbereich eine Gerätelücke in der Koordinatenmesstechnik.三个微型平面反射干涉仪，一个Antastsensor和两个Winkelsensoren韦尔登如此angeordnet，在所有艾伦个Koordinatenachsen abbefehlerfreieMesssungen moglich sind。新的纳米机器人是由小机械和微结构制造的。
Abstract Am Institut für Prozessmess- und Sensortechnik wird eine Nanomessmaschine für die dreidimensionale Koordinatenmessung mit einem Messbereich von 25 mm x 25 mm x 5 mm und einer Auflösung von 1,24 nm entwickelt. Das Gerät schließt mit seiner Auflösung und seinem Messbereich eine Gerätelücke in der Koordinatenmesstechnik. Drei Miniaturplanspiegelinterferometer, ein Antastsensor und zwei Winkelsensoren werden so angeordnet, dass in allen drei Koordinatenachsen abbefehlerfreie Messungen möglich sind. Anwendungsgebiet der neuen Nanomessmaschine ist die Präzisionsvermessung von Kleinteilen und Mikrostrukturen.