斜入射検出器を用いた真空紫外エリプソメータによるストークス・パラメータおよび光学定数測定
斜入射検出器を用いた真空紫外エリプソメータによるストークス・パラメータおよび光学定数測定
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使用掠入射探测器的真空紫外椭偏仪测量斯托克斯参数和光学常数
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
平松和政
中科院分区:
文献类型:
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作者:
齋藤輝文;尾崎恭介;福井一俊;岩井浩紀;山本晃司;三宅秀人;平松和政