斜入射検出器を用いた真空紫外エリプソメータによるストークス・パラメータおよび光学定数測定

斜入射検出器を用いた真空紫外エリプソメータによるストークス・パラメータおよび光学定数測定
复制标题

使用掠入射探测器的真空紫外椭偏仪测量斯托克斯参数和光学常数

DOI:
--
复制
发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
平松和政
平松和政
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
齋藤輝文;尾崎恭介;福井一俊;岩井浩紀;山本晃司;三宅秀人;平松和政

文献摘要

相似文献