中村圭二 他2名: "Ion-Induced Radical Desorption in High-Density plasmas and Application to Wall Control of Oxide Etcher"24th International Conference on Phenomena in Ionizzed Gases. 1巻. 65 (1999)
中村圭二 他2名: "Ion-Induced Radical Desorption in High-Density plasmas and Application to Wall Control of Oxide Etcher"24th International Conference on Phenomena in Ionizzed Gases. 1巻. 65 (1999)
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Keiji Nakamura 和其他 2 人：“高密度等离子体中的离子诱导自由基解吸及其在氧化物蚀刻机壁控制中的应用”第 24 届电离气体现象国际会议第 1. 65 卷（1999 年）。
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