High Aspect Ratio SiO<sub>2</sub> Pillar Structures Capable of the Integration of an Image Sensor for Application of Optical Modulator
High Aspect Ratio SiO<sub>2</sub> Pillar Structures Capable of the Integration of an Image Sensor for Application of Optical Modulator
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高深宽比SiO<sub>2</sub>柱结构可集成图像传感器用于光调制器应用
DOI：
10.1541/ieejsmas.136.41
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发表时间：
2016
影响因子：
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通讯作者：
Takahito Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.V. Toan;Suguru Sangu;Takahito Ono
