高Sn濃度SiSn薄膜/絶縁膜の低温固相成長特性の膜厚依存性
高Sn濃度SiSn薄膜/絶縁膜の低温固相成長特性の膜厚依存性
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高Sn浓度SiSn薄膜/绝缘膜低温固相生长特性的膜厚依赖性
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐道 泰造
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岡本 紘汰;小杉 智浩;佐道 泰造
