超低エネルギーボロンイオン注入層のTEM観察
超低エネルギーボロンイオン注入層のTEM観察
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超低能硼离子注入层的TEM观察
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山本和弘
中科院分区：
文献类型：
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作者：
立花和也、伊藤國雄、財部健一;他;山本和弘
