真空紫外レーザによるポリカーボネート上におけるAl薄膜パターニングの微細化
真空紫外レーザによるポリカーボネート上におけるAl薄膜パターニングの微細化
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使用真空紫外激光在聚碳酸酯上进行铝薄膜精细图案化
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉田剛，野尻秀智，大越昌幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Yokoyama;T. Yoshida;N. Matsuki;M. Okoshi;横山岬，吉田剛，松木伸行，大越昌幸;吉田剛，野尻秀智，大越昌幸;横山岬，吉田剛，松木伸行，大越昌幸;小島洋治，野尻秀智，大越昌幸;横山岬，吉田剛，松木伸行，大越昌幸;吉田剛，野尻秀智，大越昌幸;吉田剛，野尻秀智，大越昌幸
