結晶基板に孔を形成する方法、並びに結晶基板に配線や配管を有する機能デバイス
結晶基板に孔を形成する方法、並びに結晶基板に配線や配管を有する機能デバイス
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在晶体基板中形成孔的方法以及在晶体基板中具有布线和管道的功能器件
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发表时间：
2012
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