Thermal Stability Improvement of Si_<1-y>C_y Layers by SiO_2 Cap Layer
Thermal Stability Improvement of Si_<1-y>C_y Layers by SiO_2 Cap Layer
复制标题
SiO_2覆盖层提高Si_<1-y>C_y层的热稳定性
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Makoto Konagai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hanae Ishihara;Komaki Inoue;Akira Yamada;Makoto Konagai
