K.Nshimura, S.Urabe, M.Morita: "Oxidation Control of Si(100) Surface in Heating-up Process"Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 421-425 (1999)
K.Nshimura, S.Urabe, M.Morita: "Oxidation Control of Si(100) Surface in Heating-up Process"Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. 421-425 (1999)
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K.Nshimura、S.Urabe、M.Morita:“加热过程中Si(100)表面的氧化控制”完美表面的精密科学与技术。
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