H.Matsuhashi: "Superiority of DMAH to DMEAA for Al CVD Technology" Advanced Metalization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1997,San Diego. (1997)
H.Matsuhashi: "Superiority of DMAH to DMEAA for Al CVD Technology" Advanced Metalization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1997,San Diego. (1997)
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H.Matsuhashi：“Al CVD 技术中 DMAH 相对于 DMEAA 的优越性”，用于 ULSI 应用的先进金属化和互连系统，1997 年，圣地亚哥。
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