T.Iwasaki: "Three-Dimensional Deposition of TiN Film Using Low Frequency (50Hz) Plasma CVD" Proceedings of the 13th Symposium on Plasama Processing. 13. 251-254 (1996)
T.Iwasaki: "Three-Dimensional Deposition of TiN Film Using Low Frequency (50Hz) Plasma CVD" Proceedings of the 13th Symposium on Plasama Processing. 13. 251-254 (1996)
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T.Iwasaki：“使用低频 (50Hz) 等离子体 CVD 进行 TiN 薄膜的三维沉积”第 13 届等离子体加工研讨会论文集。
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