ITOターゲット取扱い作業者におけるマスク面体顔面接触部位のインジウム付着量についての研究
ITOターゲット取扱い作業者におけるマスク面体顔面接触部位のインジウム付着量についての研究
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处理ITO靶材的工人面罩面接触区域的铟沉积量研究
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中茂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮内博幸;山本忍;平田美由紀;田中昭代;永滝陽子;中野真紀子;大前和幸;田中茂
