Influence of Clamping Loss and Electrical Damping On Nonlinear Dissipation in Micromechanical Resonators
Influence of Clamping Loss and Electrical Damping On Nonlinear Dissipation in Micromechanical Resonators
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钳位损耗和电阻尼对微机械谐振器非线性耗散的影响
DOI：
10.1109/mems51670.2022.9699668
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Shaw, Steven W.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Miller, James M.L.;Alter, Anne L.;Bousse, Nicholas E.;Chen, Yunhan;Flader, Ian B.;Shin, Dongsuk D.;Kenny, Thomas W.;Shaw, Steven W.
