集束イオンビームによる硬ぜい性材料のナノ加工に関する研究
集束イオンビームによる硬ぜい性材料のナノ加工に関する研究
复制标题
聚焦离子束硬脆材料纳米加工研究
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
新野秀憲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高橋信彦;吉岡勇人;新野秀憲
