4H-SiC钒离子注入层的特性
4H-SiC钒离子注入层的特性
复制标题
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
张义门
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
王超*;张玉明;张义门
