Grazing incidence X-ray reflectivity of HfO_2/Si film
Grazing incidence X-ray reflectivity of HfO_2/Si film
复制标题
HfO_2/Si薄膜的掠入射X射线反射率
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
I. Kojima and S. Wei
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Fan;N. Matsubayashi;I. Kojima and S. Wei
