無水HFエッチングによるシリコンナノ結晶の自然酸化膜の除去
無水HFエッチングによるシリコンナノ結晶の自然酸化膜の除去
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无水HF蚀刻去除硅纳米晶上的原生氧化膜
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中峯嘉文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
西山寛樹;冨田育義;Yoshifumi Nakamine;中峯嘉文
