俣野 達哉、益 一哉、坪内 和夫、御子柴 宣夫: "選択/非選択Al CVD技術によるビアホ-ル完全平坦化堆積" 平成2年秋季 第51回応用物理学学術講演会. 27a-E-5 (1990)
俣野 達哉、益 一哉、坪内 和夫、御子柴 宣夫: "選択/非選択Al CVD技術によるビアホ-ル完全平坦化堆積" 平成2年秋季 第51回応用物理学学術講演会. 27a-E-5 (1990)
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Tatsuya Matano、Kazuya Masu、Kazuo Tsubouchi、Nobuo Mikoshiba：“通过选择性/非选择性 Al CVD 技术完全平坦化沉积通孔”第 51 届应用物理学术会议，1990 年秋季。27a-E-5 (1990)
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