Growth Mechanism of Cubic Titanium Nitride Thin Films by Nitrogen-Implantation
Growth Mechanism of Cubic Titanium Nitride Thin Films by Nitrogen-Implantation
复制标题
氮注入立方氮化钛薄膜的生长机理
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Kasukabe
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三枝進;初田亨ほか;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe;粕壁善隆;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe;Y.Kasukabe
