高周波プラズマCVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の形成と構造解析
高周波プラズマCVDによる高窒素含有a-CNx:H薄膜の形成と構造解析
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高氮含量a-CNx:H薄膜的高频等离子体CVD形成及结构分析
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊藤治彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
飯澤仁規;平松拳也;齋藤秀俊;伊藤治彦
