MEMSピエゾ抵抗カンチレバーを用いた針型圧力センサ
MEMSピエゾ抵抗カンチレバーを用いた針型圧力センサ
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采用MEMS压阻悬臂梁的针式压力传感器
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
高橋英俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岸本卓大;高橋英俊
