3C-SiC/Si基板上に作製したAlGaN/GaN/GaN:Cヘテロ構造のターンオン容量回復特性

3C-SiC/Si基板上に作製したAlGaN/GaN/GaN:Cヘテロ構造のターンオン容量回復特性
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3C-SiC/Si 衬底上 AlGaN/GaN/GaN:C 异质结构的导通电容恢复特性

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
川村 啓介
川村 啓介
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
中野 由崇;北原 功一;大内 澄人;生川 満久;川村 啓介

文献摘要

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