T.Kosugi,T.Yamashiro,R.Aihara,K.Gamo,S.Namba: "In situ patterning of GaAs by focused ion beam" J.Vac.Sci.Technol. B9. 3099-3102 (1991)
T.Kosugi,T.Yamashiro,R.Aihara,K.Gamo,S.Namba: "In situ patterning of GaAs by focused ion beam" J.Vac.Sci.Technol. B9. 3099-3102 (1991)
复制标题
T.Kosugi、T.Yamashiro、R.Aihara、K.Gamo、S.Namba：“通过聚焦离子束对 GaAs 进行原位图案化”J.Vac.Sci.Technol。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
