各種真空ポンプを用いた超高真空の準備方法の検討
各種真空ポンプを用いた超高真空の準備方法の検討
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使用各种真空泵制备超高真空的方法的检验
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
山田 健二
中科院分区:
文献类型:
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作者:
浜本 未海;山田 健二