T. Fujii, H.Aoyagi, Y. Horiike and H. Shindo: "Silicon Oxidation by Negative and Positive Ion Irradiations in Microwave Oxygen Plasma"Proc. 17^<th> Plasama Processing Symposium, Nagasaki, Japan. 519-522 (2000)
T. Fujii, H.Aoyagi, Y. Horiike and H. Shindo: "Silicon Oxidation by Negative and Positive Ion Irradiations in Microwave Oxygen Plasma"Proc. 17^<th> Plasama Processing Symposium, Nagasaki, Japan. 519-522 (2000)
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T. Fujii、H.Aoyagi、Y. Horiike 和 H. Shindo：“微波氧等离子体中负离子和正离子辐照的硅氧化”Proc。
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