T.Sadoh 他: "Dose Dependent Etching Selectivity in SiO2 by Focused Ion Beam"International Conference on Solid State Devices and Materials. B-8-2 (2002)
T.Sadoh 他: "Dose Dependent Etching Selectivity in SiO2 by Focused Ion Beam"International Conference on Solid State Devices and Materials. B-8-2 (2002)
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T. Sadoh 等人：“聚焦离子束在 SiO2 中的剂量依赖性蚀刻选择性”国际固态器件和材料会议 B-8-2 (2002)。
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