(19)“Mechanisms for Atomic Layer Etching of Metal Films by the Formation of Beta-diketonate Metal Complexes
(19)“Mechanisms for Atomic Layer Etching of Metal Films by the Formation of Beta-diketonate Metal Complexes
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(19)“通过形成β-二酮金属配合物对金属薄膜进行原子层蚀刻的机制”
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Satoshi Hamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomoko Ito;Kazuhiro Karahashi;Satoshi Hamaguchi
