M.Ishii, et al: "0.1μm MOSFET with Super Self-Aligned Shallow Junction Electrodes" ULSI Science and Technology '97. PV97-3. 441-449 (1997)
M.Ishii, et al: "0.1μm MOSFET with Super Self-Aligned Shallow Junction Electrodes" ULSI Science and Technology '97. PV97-3. 441-449 (1997)
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M.Ishii 等人：“具有超级自对准浅结电极的 0.1μm MOSFET” ULSI Science and Technology 97 PV97-3 (1997)。
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