Crystallized TiO2 film growth on unheated substrates by pulse-powered magnetron sputtering
Crystallized TiO2 film growth on unheated substrates by pulse-powered magnetron sputtering
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通过脉冲驱动磁控溅射在未加热基底上生长结晶 TiO2 薄膜
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Ishigaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Kamei;T.Ishigaki
