Acoustic Microscopy for Micro Electrical Interconnections

Acoustic Microscopy for Micro Electrical Interconnections
复制标题

用于微电气互连的声学显微镜

DOI：
--
复制
发表时间：
2005
期刊：
Proc. 2005 ASME/Pacific Rim Technical Conference and Exhibition on Integration and Packaging of MEMS, HEMS, and Electronic Systems (CD-ROM) IPACK2005-73061
影响因子：
--
通讯作者：
H. Tohmyoh (T. Akaogi and M. Saka)
H. Tohmyoh (T. Akaogi and M. Saka)
中科院分区：
--
文献类型：
--
作者：
K. Sasagawa (S. Uno;N. Yamaji and M. Saka);M. Hasegawa (K. Sasagawa and M. Saka);H. Tohmyoh (T. Akaogi and M. Saka)

文献摘要

相似文献