Y.Ueda,H.Muta and Y.Kawai: "Role of peripheral vacuum regions in the control of the electron cyclotron resonance plasma uniformity"Applied Physics Letters. 74,14. 1972-1974 (1999)
Y.Ueda,H.Muta and Y.Kawai: "Role of peripheral vacuum regions in the control of the electron cyclotron resonance plasma uniformity"Applied Physics Letters. 74,14. 1972-1974 (1999)
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Y.Ueda、H.Muta 和 Y.Kawai:“外围真空区域在控制电子回旋共振等离子体均匀性中的作用”应用物理快报。
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