松浦 孝: "低エネルギーイオン照射によるSiの原子層エッチング" 表面科学. 16(発表予定). (1995)
松浦 孝: "低エネルギーイオン照射によるSiの原子層エッチング" 表面科学. 16(発表予定). (1995)
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Takashi Matsuura：“低能离子照射的硅原子层蚀刻”表面科学 16（待发表）。
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