直径100μm金属パイプ電極を用いた大気圧マイクロプラズマによるポリイミドフィルムの局所エッチング
直径100μm金属パイプ電極を用いた大気圧マイクロプラズマによるポリイミドフィルムの局所エッチング
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使用100 μm直径金属管电极进行常压微等离子体局部刻蚀聚酰亚胺薄膜
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
吉木宏之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Yoshiki;J.Sato;Y.Sugioka;Y.Suda;吉木宏之;Yoshinobu Matsuda;吉木宏之;吉木宏之;Hiroyuki Yoshiki;嶺健二;吉木宏之
