Piezoelectric microactuators composed of PZT thin films on Si substrates
Piezoelectric microactuators composed of PZT thin films on Si substrates
复制标题
由硅衬底上的 PZT 薄膜组成的压电微执行器
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hidetoshi Kotera
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Isaku Kanno;Yoshiro Tazawa;Takaaki Kunisawa;Takaaki Suzuki;Hidetoshi Kotera
DOI：
10.1088/0960-1317/15/11/015
发表时间：
2005-11-01
影响因子：
2.3
作者：
Lee, HC;Park, JH;Bu, JU
通讯作者：
Bu, JU