ヘリコン波プラズマスパッタによる生体適合圧電材料MgSiO_3創製技術の開発
ヘリコン波プラズマスパッタによる生体適合圧電材料MgSiO_3創製技術の開発
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螺旋波等离子体溅射生物相容性压电材料MgSiO_3制备技术的开发
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
他
中科院分区：
文献类型：
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作者：
仲町 英治;上辻 靖智;他
