Development of a size-selected gas cluster ion beam system for low-damage processing
Development of a size-selected gas cluster ion beam system for low-damage processing
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开发用于低损伤加工的尺寸选定的气体团簇离子束系统
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
I.Yamada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Toyoda;S.Houzumi;I.Yamada
碳基底上冲击过程的团簇尺寸依赖性
DOI：
10.1016/s0168-583x(99)00201-3
发表时间：
1999
影响因子：
1.3
作者：
T. Aoki;T. Seki;J. Matsuo;Z. Insepov;I. Yamada
通讯作者：
I. Yamada
大型、高能簇对表面的影响
DOI：
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发表时间：
1986
期刊：
影响因子：
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作者：
M. Matthew;R. Beuhler;M. Ledbetter;L. Friedman
通讯作者：
L. Friedman