Structural Change in Si Induced by Ion Bombardments and Its Application for Nano-Fabrication

Structural Change in Si Induced by Ion Bombardments and Its Application for Nano-Fabrication
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离子轰击引起的硅结构变化及其在纳米加工中的应用

DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
Takasaki Aannual Report (JAEA-Review) JAEA-Review 2007(掲載決定)
影响因子：
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通讯作者：
and Y. Maeda
and Y. Maeda
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
T. Motooka;Y. Ikoma;S. Munetoh;X.Q. Chneg;H. Naramoto;K. Narumi;S. Sakai;and Y. Maeda

文献摘要

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