S.Ike, S.Shoji, H.Kudo, R.Nakamura, T.Saitoh, et.al.: "Low Temperature HF Bonding and Micropackaging for Microsystems" The Electrochemical Society, Microstructures & Microfabricated Systems IV. 98-14. 70-76 (1998)
S.Ike, S.Shoji, H.Kudo, R.Nakamura, T.Saitoh, et.al.: "Low Temperature HF Bonding and Micropackaging for Microsystems" The Electrochemical Society, Microstructures & Microfabricated Systems IV. 98-14. 70-76 (1998)
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S.Ike、S.Shoji、H.Kudo、R.Nakamura、T.Saitoh 等人：“微系统的低温 HF 键合和微封装”电化学协会，微观结构
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