3D自己加熱ステージを用いたマイナーメタルの深掘り反応性イオンエッチング技術の開発
3D自己加熱ステージを用いたマイナーメタルの深掘り反応性イオンエッチング技術の開発
复制标题
利用3D自加热台开发稀有金属深度反应离子蚀刻技术
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
安部 隆
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
韓 剛;村田 祐貴;大川 太基;今井 純一;寒川 雅之;安部 隆
