N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成
N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるシリコンのランダム逆ピラミッドの形成
复制标题
使用 N-氟吡啶鎓盐通过光刻在硅中形成随机倒金字塔
DOI：
--
复制
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
森田瑞穂
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
足達健二;永井隆文;平野利典;大谷真輝;川合健太郎;打越純一;森田瑞穂
