差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性(英文)
差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性(英文)
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DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
王军波
中科院分区：
文献类型：
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作者：
邢永豪;谢波;陈健;陈德勇;王军波
