新しい静電型MEMSアクチュエータ=円すいばねMEMSアクチュエータとその固着防止駆動法=
新しい静電型MEMSアクチュエータ=円すいばねMEMSアクチュエータとその固着防止駆動法=
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新型静电MEMS执行器=锥形弹簧MEMS执行器及其防粘驱动方法=
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
福重孝志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
秦 誠一;福重孝志
