A.Kono: "Charged particle densities and kinetics in a radio-frequency SF_6 plasma" J.Appl.Phys.76. 7221-7230 (1994)
A.Kono: "Charged particle densities and kinetics in a radio-frequency SF_6 plasma" J.Appl.Phys.76. 7221-7230 (1994)
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A.Kono：“射频 SF_6 等离子体中的带电粒子密度和动力学”J.Appl.Phys.76。
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