Single crystal diamond MEMS: Concpet, Fabrication, and Applications
Single crystal diamond MEMS: Concpet, Fabrication, and Applications
复制标题
单晶金刚石 MEMS：概念、制造和应用
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yasuo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
LIAO;Meiyong;KOIDE;Yasuo
