Supercritical fluid deposition for conformal Cu film formation on sub-millimeter-scale structures used to fabricate terahertz waveguides
Supercritical fluid deposition for conformal Cu film formation on sub-millimeter-scale structures used to fabricate terahertz waveguides
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超临界流体沉积在用于制造太赫兹波导的亚毫米级结构上形成共形铜膜
DOI：
10.35848/1882-0786/ac737b
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发表时间：
2022
影响因子：
2.3
通讯作者：
Momose Takeshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Huang Yuyuan;Deura Momoko;Shimoyama Yusuke;Shimogaki Yukihiro;Momose Takeshi
