Y.C.Jeong et al.: "Epitaxial Growth of N Delta Doped Si Films on Si(100) by Alternately Supplied NH_3 and SiH_4"First International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2003). 243-244 (2003)
Y.C.Jeong et al.: "Epitaxial Growth of N Delta Doped Si Films on Si(100) by Alternately Supplied NH_3 and SiH_4"First International SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM 2003). 243-244 (2003)
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Y.C.Jeong 等人：“通过交替供应 NH_3 和 SiH_4 在 Si(100) 上外延生长 N Delta 掺杂 Si 薄膜”第一届国际 SiGe 技术和器件会议 (ISTDM 2003)。
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