Kensuke Akiyama, Seishiro Ohya, Hiroshi Funakubo: "β-FeSi_2 Thin Film Preparation by ECR Plasma-Enhanced MOCVD"Transactions of Materials Research Society of Japan. 28(3). 805-808 (2003)
Kensuke Akiyama, Seishiro Ohya, Hiroshi Funakubo: "β-FeSi_2 Thin Film Preparation by ECR Plasma-Enhanced MOCVD"Transactions of Materials Research Society of Japan. 28(3). 805-808 (2003)
复制标题
Kensuke Akiyama、Seishiro Ohya、Hiroshi Funakubo：“通过 ECR 等离子体增强 MOCVD 制备 β-FeSi_2 薄膜”日本材料研究学会汇刊 28(3) (2003)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
