Equipment, materials and processes: a review of high rate sputtering technology for glass coating
Equipment, materials and processes: a review of high rate sputtering technology for glass coating
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设备、材料与工艺：玻璃镀膜高速溅射技术综述
DOI：
10.1016/s0040-6090(03)00930-1
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
J. Strümpfel
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Nadel;P. Greene;J. Rietzel;J. Strümpfel
