Development of Micro-aperture for Annular Pupil on Electron Optics by Focused Ion Beam Technique(in Japanese)

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利用聚焦离子束技术开发电子光学环形光瞳微孔径(日文)

DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
J. Vac. Soc. Jpn. 50
影响因子:
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通讯作者:
et. al.
et. al.
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
M. Fujiwara;et. al.

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